德國SIOS SP 5000 DI/F超穩(wěn)定緊湊型光學(xué)差分激光干涉儀的簡介：
超穩(wěn)定、緊湊的SP 5000 DI/F 差分干涉儀專為必須長時間執(zhí)行高度穩(wěn)定的長度測量的應(yīng)用而設(shè)計。緊湊的傳感器設(shè)計即使在狹窄的空間內(nèi)也能實現(xiàn)長期穩(wěn)定的調(diào)整和放置，因此精密測量系統(tǒng)非常適合用作閉環(huán)控制回路的激光尺。應(yīng)用需要一個外部參考點，通常放置在測量范圍的中間，以實現(xiàn)的測量值穩(wěn)定性。干涉儀的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也可實現(xiàn)亞納米范圍內(nèi)的長度分辨率?？梢院苋菀椎剡M行幾米的測量，因此可以使用 SP 系列的反射器。
激光干涉儀以光波為載體，利用激光作為長度基準(zhǔn)，是迄今的高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

德國SIOS SP 5000 DI/F超穩(wěn)定緊湊型光學(xué)差分激光干涉儀的特點：
最高精度的差分長度或角度測量
通過差分測量將環(huán)境影響降至較低
熱超穩(wěn)定傳感器設(shè)計，溫度靈敏度 < 10 nm/K
可以使用各種光學(xué)反射器，例如球面、平面鏡反射器
測量反射器的大傾斜不變性
緊湊而堅固的設(shè)計
標(biāo)配不銹鋼傳感器頭設(shè)計
光束距離：14 毫米
可以提供 OEM 版本、OEM 軟件和真空版本
可用作具有可選接口的反饋系統(tǒng)
廣泛的觸發(fā)選項